用途：該儀器專門(mén)用于硅單晶棒定向測(cè)量，與我公司生產(chǎn)的YX-5Z\6Z及多線切割設(shè)備配套使用，最大特點(diǎn)是，測(cè)量晶向后直接計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，并對(duì)偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)算出偏晶向的角度值。
  結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測(cè)角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤(pán)、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。計(jì)算軟件采用國(guó)際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測(cè)量精度±0.008度（±30〃），能夠測(cè)量直徑3～8英寸，長(zhǎng)450㎜，測(cè)量晶面為111、100等。
  型號(hào)：  YX-5D為雙測(cè)角儀,一邊定向計(jì)算，一邊測(cè)片（8英寸）。
          YX-5DA為單測(cè)角儀，定向計(jì)算。

  主要參數(shù)：